Faixa de viagem
20mm
Resolução
0,125μm
Repetibilidade
<1μm
Retidão
<2μm
Paralelismo
<5μm
Arremesso
10″(50 μrad)
Bocejando
Velocidade máxima
5mm/seg
Capacidade de carga
10kg
Peso
1,5 kg